KitapOka | Физические основы микро-и нанотехнологий: учебное пособие
Haladym
0
ýükle
Kitabyň ady: Физические основы микро-и нанотехнологий: учебное пособие
Awtory: И.Б.Захарова
Kitap barada: Рассмотрены физические особенности формирования микро- и наноразмерных структур, лежащих в основе современной наноэлектроники, основные технологические методы получения таких структур и перспективы их развития. Большое внимание уделено физическим и технологическим ограничениям на предельные параметры микро- и наноструктур. Реализация технологических процессов рассмотрена на примере МОП- структур интегральных схем с малыми размерами элементов и углеродных наноструктур. Учебное пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по магистерской программе «Физика нанотехнологий и наноразмерных структур» направления подготовки магистров «Техническая физика». Оно может быть также использовано студентами, обучающимися по направлениям «Электроника и наноэлектроника», «Инфо- коммуникационные технологии», в системах повышения квалификации и дополнительного образования.
Dili: Rus
Çap edilen ýyly: 2010. – 204 с.
Formaty: .pdf
Göwrümi: 3.71 mb
Baly: 100
Görülen sany: 308

Häzirlikçe bu kitaba degişli teswir ýok